1. Chemical mechanical planarization of microelectronic materials
پدیدآورنده : / Joseph M. Steigerwald, Shyam P. Murarka, Ronald J. Gutmann
کتابخانه: كتابخانه مركزی و مركز اسناد دانشگاه شهيد چمران (خوزستان)
موضوع : Microelectronics--Materials,Grinding and polishing.
رده :
TK
,
7871
,.
S77
,
1997